微波等離子清洗機是一種利用微波能量激發氣體產生等離子體,進而對材料表面進行高效、精密處理的設備。與傳統的射頻(RF)等離子技術相比,微波等離子技術能夠在更低的壓力下工作,并且通常提供更均勻的等離子分布,這對于需要高精度表面處理的應用尤為重要。
主要特點
高效的能量轉換:微波等離子清洗機通過微波能量直接加熱氣體分子,從而產生等離子體,這種機制可以實現更高的能量效率和更好的控制。
低溫處理:由于其獨特的能量傳輸方式,微波等離子可以在相對較低的溫度下操作,這使得它非常適合處理對熱敏感的材料,如塑料、聚合物以及生物醫學器件等。
均勻性佳:微波等離子技術能夠提供更加均勻的等離子體分布,有助于確保整個處理區域內的表面改性效果一致。
多功能應用:支持多種工藝氣體(如氧氣、氬氣、氫氣等),可用于清洗、活化、蝕刻及涂層等多種表面處理過程。
環保友好:微波等離子清洗過程中使用的化學物質較少,減少了有害廢料的產生,是一種較為環保的表面處理方法。
應用領域
微波等離子清洗機廣泛應用于多個高科技領域,包括但不限于:
- 電子制造:用于PCB板清潔、芯片封裝前的表面預處理等。
- 半導體加工:在晶圓制造中進行表面活化、去除光阻層等。
- 醫療設備制造:對醫療器械進行表面改性以提高生物相容性或消毒處理。
- 航空航天:對復合材料進行表面處理,增強粘接性能。
- 汽車工業:改善塑料件或其他組件的表面特性,提高涂裝質量。
通過使用微波等離子清洗機,用戶可以實現高質量的表面處理,不僅提升了產品的性能和耐用性,還為新材料的應用提供了更多可能性。其靈活性和精確度使其成為科研開發和工業生產中的理想選擇。
榮譽資質
高新技術企業證書
Certificate of Compl
Verification of Conf
Certificate of Compl
名稱 | 微波等離子清洗機 |
設備供電 | 三相380V/AC,50/60Hz,7.2KW |
等離子微波源 | 2.45GHz,0-1250W |
負載冷卻方式 | 循環水冷 |
真空泵 | 雙級旋葉泵+羅茨泵 |
設備控制方式 | PLC+PC |
真空探測 | 皮拉尼式真空規 |
工藝氣體 | 2路氣體可選(CF4,SF6,O2,Cl2,BCI2等) |
氣體流量 | MFC/0-500sccm,兩路氣體可選 |
腔體容積 | 110L |
處理效率 | 同時可放置8個支架類料盒 |
觸摸屏 | 13.3寸一體機 |
外形尺寸 | 1400mm*770mm*1660mm |



