采購明細：
序號 | 設備名稱 | 數量/單位 | 預算單價 | 品牌 | 型號 | 規格參數 | 質保及售后服務 | 附件 |
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1 | 真空等離子體清洗機 | 1(臺) | 1.耐用的高品質不銹鋼結構和固定裝置，可調節托盤間距； 2.配2路MFC流量計：最佳流量控制，支持各種工藝氣體，如：氬氣，氧，氫，氮等； 3.氣路控制：2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣等； 4.真空泵：雙級旋片泵，抽速≥4L/S； 5.設備尺寸及設備參數：設備外觀600mm(L)×530mm(W)×565 mm(H)；腔體容積：10L；腔體尺寸200(W)*270(D)*200(H)mm，4層高導電鋁合金專用電極； 6.功率600W連續可調； 7.腔體材質：進口 316L 不銹鋼，軍工級密封； 8.控制系統：真空防呆、功率防呆、電源過熱報警，工作時間可數字設定； 9.人機控制：進口日本松下PLC加4.3寸觸摸屏，直觀的觸摸屏，過程參數實時監控。 | 按行業標準提供服務 |
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