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誠峰plasma設備微電子學封裝生產過程中的污染分子清除處理


誠峰plasma設備微電子學封裝生產過程中的污染分子清除處理(圖1)


說到微電子封裝,很多人第一反應是那些精密的芯片和復雜的電路。但你可能不知道,封裝過程中最讓人頭疼的其實是那些看不見的污染分子。就像做菜前要洗干凈食材一樣,芯片封裝前也得把表面清理得干干凈凈。

微電子封裝過程中,芯片表面經常會沾上油脂、氧化物、粉塵這些“不速之客”。這些污染物看著不起眼,卻能讓整個封裝質量大打折扣。傳統的清洗方法要么用水洗,要么用化學溶劑,但這些方式要么洗不干凈,要么會損傷材料。這時候就需要用到等離子清洗設備了,它就像給芯片做“分子級SPA”,能把污染物清理得徹徹底底。

等離子清洗技術說白了就是用高能粒子給材料表面“洗澡”。設備會產生等離子體,這些帶電粒子碰到污染物時,能把它們打碎成氣體排走。整個過程不用水也不用化學藥劑,既環保又高效。比如在芯片貼裝前,用等離子清洗能把焊盤表面的氧化物清掉,這樣后續的焊接質量就能提高不少。有些高端封裝產線現在都把這步當作標準流程了。

在倒裝芯片工藝里,等離子清洗更是必不可少。芯片和基板要對準鍵合,要是表面有污染物,鍵合強度就會受影響。有實驗數據顯示,經過等離子清洗的樣品,鍵合強度能提升30%以上。這技術對BGA、CSP這些先進封裝形式特別管用,能顯著降低虛焊、脫焊的概率。

除了清除污染物,等離子處理還有個隱藏技能——能改變材料表面特性。經過處理的表面更容易沾膠水、焊料,這對提高封裝可靠性幫助很大。像某些高分子材料本來很難粘接,經過等離子處理后粘接強度能翻倍。這個特性在柔性電子封裝領域特別受歡迎,畢竟柔性基材的表面處理一直是個難題。

說到設備選擇,現在市面上有常壓和真空兩種等離子清洗機。真空型的處理效果更均勻,適合高精度要求的場合;常壓型的則更適合在線式生產,速度更快。像我們公司產線上用的就是模塊化設計的等離子清洗設備,能根據產品特點調整處理參數,靈活性比較高。

隨著芯片尺寸越來越小,封裝密度越來越高,對表面清潔度的要求也水漲船高。傳統的清洗方法已經有點力不從心了,而等離子技術正好能填補這個空白。未來隨著5G、物聯網設備普及,這種干式清洗工藝肯定會用得越來越廣。畢竟在微電子領域,有時候清潔度差那么一點點,最終產品的良率可能就會差一大截。

下次當你用手機或者智能手表時,可能不會想到里面芯片經歷過這樣的“深度清潔”。但正是這些看不見的工藝細節,才保證了電子設備能穩定可靠地工作。從某種意義上說,等離子清洗就像是給芯片穿上了“防護服”,讓它們能以最佳狀態投入到工作中去。

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